固态激光剥蚀系统内置性能良好密闭的泵浦灯和MIL-SPEC标准设计制造的激光源,给操作者带来非常稳定的激光能量和低维护成本,配备了高精度独立减震光学平台后,系统能够在多种苛刻环境中进行多种样品分析。使用的高性能硬件及高精度光学部件,带来效果优异的光学分辨率,达到清晰观察效果的同时并具有宽泛的视野,配备高质量、多阵列和亮度可调的透射照明和反射照明系统,确保在放大倍数下也能清晰观察样品。
固态激光剥蚀激光源和光路单元:
1、五倍频213nmQ-switched控制的Nd:YAG固体激光源,脉冲能量>3mJ,脉冲宽度<5ns
2、脉冲稳定性<3%
3、平顶激光技术,达到良好的剥蚀坑
4、激光光路和观察光路独立设计,防止机械震动干扰和热源干扰,具有非常高的稳定性
5、脉冲频率1-20Hz可调,输出能量1-可调
6、剥蚀斑点范围4-200μm
7、密闭且易维护的激光源设计
固态激光剥蚀采用开放式样品池位置设计,能够兼容多种样品池,并支持用户定制样品池。软件方面可以控制内置光圈自动切换,剥蚀斑点直径范围4-200μm,系统通过与ICP通讯实时调整能量、斑点大小和扫描速度等参数。简洁实用的结构设计,不仅提供了稳定的性能,同时具有良好的易维护性,为您提供便利高效的工作过程,实现定点——剥蚀——分析的三步目标。