激光剥蚀对于确定样品表面的污染物、执行涂层分析、了解薄膜结构以及识别位于其下方的夹杂物是一项非常有价值的功能，并可观察从样品中收集到的一组LIBS光谱和质谱之间的差异，通过参考标准浓度值直接赋值给LIBS或ICP-MS强度，单变量校准曲线可轻松生成，可以用于标准定量分析的高级校准模型，LIBS光谱和质谱可以形成光谱库的基础，使用起来非常的简单方便，而且还比较经济实用。
激光剥蚀设备特点：
1、紧凑型微集气管设计，以消除脱气和记忆效应；
2、高硬度Q开关，短脉冲Nd:YAG激光器波长低至213nm；
3、可将LIBS强度和时间分辨的ICP-MS信号转换为选定元素的非常详细的2D/3D图；
4、质谱或两个光谱对各种样品(包括玻璃、油漆、油墨、塑料、地质矿物等)进行分类或鉴别的理想方法；
5、多功能取样方法：全分析、微区&夹杂物分析，深度分析和元素成像；
6、双路高精度数字质量流量控制器和电子控制阀门，硬件部件的全面控制与测量自动化；
7、应用光谱Flex样品室带有可互换镶嵌模块，以优化运输气体流量和颗粒冲刷性能；
8、时间分辨ICP-MS信号也可以非常流畅，并且可以轻而易举地获得TRSD（时间相对标准偏差）统计学数值；
9、分析人员可监测多次激光脉冲采样期间LIBS的强度或不同分析物比例的统计数据；
10、双摄像机，一个于高倍成像，另一个用于样品表面的广角观察。
激光剥蚀能够快速而准确地识别复杂的LIBS发射峰，有助于分析人员有效地处理LIBS峰值并获得定量结果，从而大大缩短数据分析时间，时间分辨ICP-MS信号也可以非常流畅，并且可以轻而易举地获得TRSD（时间相对标准偏差）统计学数值，能瞬时监测所选元素的LIBS发射峰值强度，揭示不同样品深度处元素组成的变化，该软件使分析人员能够将整个周期表中的所有元素从ppb到%的浓度范围可视化。
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